سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں کنفوکال مائکروسکوپوں کی ایپلی کیشنز
بڑے - پیمانے پر سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے عمل میں ، یہ ضروری ہے کہ انٹیگریٹڈ سرکٹ چپس کو ویفر پر جمع کروائیں ، پھر انہیں مختلف یونٹوں میں تقسیم کریں ، اور آخر میں پیکیج اور سولڈر کریں۔ لہذا ، ویفر کاٹنے والے نالی کے سائز کا عین مطابق کنٹرول اور پیمائش پیداواری عمل میں ایک اہم لنک ہے۔
کنفوکال مائکروسکوپ ایک مائکروسکوپک پتہ لگانے والا آلہ ہے جو ژونگٹو آلے کے ذریعہ لانچ کیا گیا ہے ، جو سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ اور پیکیجنگ کے عمل میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ نان - رابطہ اسکیننگ انجام دے سکتا ہے اور پیچیدہ شکلیں اور کھڑی لیزر کاٹنے والی نالیوں کے ساتھ سطح کی خصوصیات کی تین - جہتی شکل کی تشکیل نو کرسکتا ہے۔
کنفوکال مائکروسکوپ میں عمدہ آپٹیکل ریزولوشن ہے ، اور ایک واضح امیجنگ سسٹم کے ذریعہ ، یہ ویفر سطح کی خصوصیات کو تفصیل سے دیکھ سکتا ہے ، جیسے کہ آیا ویفر سطح پر کنارے ٹوٹنے اور خروںچ جیسے نقائص ہیں یا نہیں۔ الیکٹرک ٹاور خود بخود مختلف معروضی میگنیفیکیشنز کے مابین سوئچ کرسکتا ہے ، اور سافٹ ویئر تیزی سے دو - جہتی سائز کی پیمائش کے لئے فیچر ایجز کو خود بخود گرفت میں لے سکتا ہے ، اس طرح ویفر سطح کو زیادہ مؤثر طریقے سے کھوج اور معیار کا پتہ لگاتا ہے۔
لیزر کاٹنے والے ویفرز کے عمل میں ، اس بات کو یقینی بنانے کے لئے عین مطابق پوزیشننگ کی ضرورت ہوتی ہے کہ نالیوں کو ویفر پر صحیح سموچ کے ساتھ کاٹا جاسکتا ہے۔ ویفر تقسیم کا معیار عام طور پر کاٹنے والے نالیوں کی گہرائی اور چوڑائی سے ماپا جاتا ہے۔ VT6000 سیریز کنفوکل مائکروسکوپ ، کنفوکل ٹکنالوجی پر مبنی ہے اور اعلی - اسپیڈ اسکیننگ ماڈیولز سے لیس ہے ، اس میں ملٹی ایریا اور خودکار پیمائش کے افعال کے ساتھ پیشہ ور تجزیہ سافٹ ویئر ہے۔ یہ جانچ شدہ ویفر کے لیزر نالی کے تین - جہتی سموچ کو جلدی سے تشکیل دے سکتا ہے اور کراس - سیکشن کی چینل کی گہرائی اور چوڑائی کی معلومات حاصل کرنے کے لئے ملٹی پروفائل تجزیہ انجام دے سکتا ہے۔
