سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں کنفوکال مائکروسکوپوں کی ایپلی کیشنز
بڑے - پیمانے پر سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے عمل میں ، یہ ضروری ہے کہ انٹیگریٹڈ سرکٹ چپس کو ویفر پر جمع کروائیں ، پھر انہیں مختلف یونٹوں میں تقسیم کریں ، اور آخر میں پیکیج اور سولڈر کریں۔ لہذا ، ویفر کاٹنے والے نالی کے سائز کا عین مطابق کنٹرول اور پیمائش پیداواری عمل میں ایک اہم لنک ہے۔
VT6000 سیریز کنفوکال مائکروسکوپ ایک مائکروسکوپک معائنہ کا سامان ہے جو ژونگٹو آلہ کے ذریعہ لانچ کیا گیا ہے ، جو سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ اور پیکیجنگ کے عمل میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ غیر - رابطہ اسکیننگ انجام دے سکتا ہے اور پیچیدہ شکلیں اور کھڑی لیزر کاٹنے والی نالیوں کے ساتھ سطح کی خصوصیات کی تین - جہتی شکل کی تشکیل نو کرسکتا ہے۔
وی ٹی 6000 سیریز کنفوکال مائکروسکوپ میں عمدہ آپٹیکل ریزولوشن ہے اور یہ واضح امیجنگ سسٹم کے ذریعہ ویفر سطح کی خصوصیات کو تفصیل سے دیکھ سکتا ہے ، جیسے یہ مشاہدہ کرنا کہ آیا ویفر کی سطح پر کنارے ٹوٹنے اور خروںچ جیسے نقائص ہیں یا نہیں۔ الیکٹرک ٹاور خود بخود مختلف معروضی میگنیفیکیشنز کے مابین سوئچ کرسکتا ہے ، اور سافٹ ویئر تیزی سے دو - جہتی سائز کی پیمائش کے لئے فیچر ایجز کو خود بخود پکڑ لیتا ہے ، اس طرح ویفر سطح کو زیادہ مؤثر طریقے سے کھوج اور معیار کا پتہ لگاتا ہے۔
لیزر کاٹنے والے ویفرز کے عمل میں ، اس بات کو یقینی بنانے کے لئے عین مطابق پوزیشننگ کی ضرورت ہوتی ہے کہ نالیوں کو ویفر پر صحیح سموچ کے ساتھ کاٹا جاسکتا ہے۔ ویفر تقسیم کا معیار عام طور پر کاٹنے والے نالیوں کی گہرائی اور چوڑائی سے ماپا جاتا ہے۔ VT6000 سیریز کنفوکل مائکروسکوپ ، کنفوکل ٹکنالوجی پر مبنی ہے اور اعلی - اسپیڈ اسکیننگ ماڈیولز سے لیس ہے ، اس میں ملٹی ایریا اور خودکار پیمائش کے افعال کے ساتھ پیشہ ور تجزیہ سافٹ ویئر ہے۔ یہ جانچ شدہ ویفر کے لیزر نالی کے تین - جہتی سموچ کو جلدی سے تشکیل دے سکتا ہے اور کراس - سیکشن کی چینل کی گہرائی اور چوڑائی کی معلومات حاصل کرنے کے لئے ملٹی پروفائل تجزیہ انجام دے سکتا ہے۔
